Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan dan menguji validitas serta reliabilitas instrumen Three-tier Diagnostic Test untuk mengidentifikasi miskonsepsi siswa pada materi cahaya di Madrasah Ibtidaiyah (MI) fase C. Miskonsepsi merupakan pemahaman yang keliru terhadap suatu konsep ilmiah, yang dapat menghambat proses pembelajaran. Three-tier Diagnostic Test dipilih karena dapat memberikan informasi yang lebih mendalam tentang pemahaman siswa. Penelitian ini menggunakan pendekatan Research and Development (R&D) dari Thiagarajan yaitu Define, Design, Develop, Disseminate, meskipun tahap Disseminate tidak dilakukan karena keterbatasan waktu dan sumber daya. Instrumen yang dikembangkan terdiri dari tiga tingkatan: (1) soal pilihan ganda, (2) alasan terbuka, dan (3) tingkat keyakinan siswa. Uji validasi ahli dan uji coba instrumen dilakukan untuk memastikan validitas dan reliabilitas instrumen. Hasil uji validitas isi dari 5 validator menunjukkan nilai s-CVI sebesar 0,85 dengan kategori sangat valid. Uji validitas butir soal menunjukkan bahwa 11 dari 20 butir soal dinyatakan valid, dengan koefisien reliabilitas Alpha Cronbach sebesar 0,736, yang menunjukkan tingkat reliabilitas yang tinggi. Implementasi instrumen dilakukan pada siswa MI fase C, dan hasilnya menunjukkan bahwa instrumen ini efektif dalam mengidentifikasi miskonsepsi siswa. Analisis data menunjukkan bahwa persentase siswa yang mengalami miskonsepsi cukup tinggi, terutama pada konsep-konsep seperti pembiasan cahaya, pembentukan bayangan, dan fungsi pupil. Selain itu, ditemukan bahwa siswa cenderung menghafal jawaban tanpa memahami konsep secara mendalam, yang tercermin dari tingginya persentase miskonsepsi false positif (MK+). Berdasarkan temuan penelitian, disarankan untuk mengembangkan instrumen diagnostik berbasis digital (e-diagnostic) untuk meningkatkan efisiensi analisis data. Selain itu, perlu dilakukan penelitian lebih lanjut untuk mengidentifikasi sumber miskonsepsi secara lebih komprehensif dan merancang strategi pembelajaran yang lebih efektif untuk mengatasi miskonsepsi siswa.